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透射电镜和扫描电镜样品

透射电镜主要用于观察生物样品内部精细的结构,用于透射电镜观察?#32435;?#29289;样品往往需制备成超薄切片,病毒、细菌等需用滴液法,或在滴液法基础上发展出来的其他类?#21697;?#27861;如直接贴印法、喷雾法等主要被用于观察病毒粒子细菌的形态及生物大分子等。

扫描电镜主要用于观察物品的表面结构。样品制备简单,可观察?#27927;蟆?#36739;厚的样品,观察试样为不同大小的固体(块?#30784;?#34180;膜、颗粒、粉末),并可在真空中直接进行观察。样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

 扫描电镜

SEM 制样对样品的厚度没有特殊要求,可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来,从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察,?#21561;?#30340;只有表面加工损伤,一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀,才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况,同时引入部分人为的干扰,对样品中厚度极小的薄层来说,造成的误差更大。

透射电镜

由于TEM 得到的显微图像的质量强烈?#35272;?#20110;样品的厚度,因此样品观测部位要非常的薄,例如存储器器件的TEM 样品一般只能有10~100nm 的厚度,这给TEM 制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高,一旦过度削磨则使该样品报废。TEM 制样?#29287;?#19968;个问题?#26538;?#27979;点的定位,一般的制样只能获得10mm 量级的薄的观测范围,这在需要精确定位分析的时候,目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB )来进行精细加工。

 

 

 

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